西安理工：求解創(chuàng)新市場化

　　政府、企業(yè)、學(xué)校、工程中心——4個主體權(quán)責(zé)分明，聯(lián)系緊密，圍繞市場需求，形成了一套行之有效的創(chuàng)新機(jī)制

　　文/本刊記者 劉斯斯

　　冬日的西安理工大學(xué)靜悄悄的。從校門進(jìn)入，轉(zhuǎn)過幾個彎，就看到了晶體生長設(shè)備及系統(tǒng)集成國家地方聯(lián)合工程研究中心(以下簡稱工程中心)所在的3層小樓。

　　走進(jìn)工程中心的研發(fā)實驗室，300mm無位錯硅單晶棒簡單地以支架支撐，豎直立在地面上。這個鐵灰色、表面光亮、形如巨型鉛筆的硅單晶棒，正等待著運輸?shù)奖本?，接受項目合作方的檢驗。

　　雖然看起來并無特別，但這些硅單晶棒是工程中心的研發(fā)人員，經(jīng)過近20個月幾乎全年無休的刻苦鉆研和攻堅，完全自主設(shè)計，經(jīng)過了單元測試、整機(jī)制造、系統(tǒng)調(diào)試和拉晶實驗，于2010年9月5日從同樣自主研制的300mm硅單晶爐中拉制成功。

　　作為國家科技重大專項02專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”的重要組成部分，300mm無位錯硅單晶棒的成功標(biāo)志著項目課題“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發(fā)”第一階段的工作已近尾聲，取得了包括樣機(jī)制造、大型勾型磁場開發(fā)、IGBT綠色高效率電源研制等一系列突破性成果，并為下一步的產(chǎn)業(yè)化工作做好了準(zhǔn)備。

　　西安理工大學(xué)校長、工程中心主任劉丁對本刊記者表示：“通過承接國家科技重大專項，工程中心掌握了一批電子級單晶爐研制的關(guān)鍵共性技術(shù)。特別是大型勾型磁場和激光液面測距技術(shù)已申請國際專利，打破了國外大公司對高端電子級單晶爐的技術(shù)壟斷?！?/p>

　　劉丁強(qiáng)調(diào)，這一成功與工程中心的運行管理機(jī)制密不可分：由政府提供政策及配套文件的支持；企業(yè)提出技術(shù)難題，并為工程中心提供必要的運行和研發(fā)費用。西安理工大學(xué)組織研發(fā)人員；工程中心提出研發(fā)場地、試驗基地和實驗條件，并組織研發(fā)人員開展工作。這樣，政府、企業(yè)、學(xué)校、工程中心——4個主體權(quán)責(zé)分明，聯(lián)系緊密，圍繞市場需求，形成了一套行之有效的創(chuàng)新運行管理機(jī)制：技術(shù)通過與企業(yè)合作進(jìn)入市場，收到的經(jīng)濟(jì)回報則繼續(xù)支持進(jìn)一步的研發(fā)工作。

　　依循這一良性循環(huán)，支撐工程中心從無到有，一步一個腳印實現(xiàn)了國內(nèi)大尺寸晶體生長設(shè)備的突破。最終，工程中心逐步成為國內(nèi)領(lǐng)先的晶體生長設(shè)備研發(fā)基地，成為國家級示范工程研究中心。

　　技術(shù)積淀與人才優(yōu)勢

　　2009年11月，工程中心正式得到國家發(fā)改委的批準(zhǔn)成立。截至目前，已經(jīng)建設(shè)改造了1200平方米的場地，其主體包括研發(fā)實驗室、整機(jī)實驗測試基地和單元技術(shù)研發(fā)中心3部分。

　　工程中心研究人員弋英民博士向記者介紹說，整機(jī)測試基地和單元技術(shù)研發(fā)中心位于西安市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西安理工大學(xué)科技園區(qū)內(nèi)，分別對應(yīng)單元技術(shù)的研發(fā)和小件實驗以及整機(jī)裝備，基本功能的測試等。面前的這座小樓是工程中心的研發(fā)實驗室，包括一個實驗設(shè)備空間和3層的研發(fā)用空間，主要完成控制和工藝的實驗。

　　走進(jìn)占據(jù)樓內(nèi)一側(cè)的實驗設(shè)備空間，這個在實驗時必須為超凈環(huán)境、上下通透的廠房式大屋，此時靜靜地敞開著。高大的300mm硅單晶爐立于廠房中央，包括單晶爐本體、大型勾形磁場及控制設(shè)備等在內(nèi)的一整套設(shè)備，占據(jù)了大半個空間。設(shè)備一側(cè)鋪設(shè)有很多粗大的管線，一直連到屋外，為實驗提供水電氣等能源。另一側(cè)，幾個完成的300mm無位錯硅單晶棒正在裝車。

　　工程中心負(fù)責(zé)人介紹說，這里原本是西安理工大學(xué)校辦工廠的裝配車間。1961年，當(dāng)時的學(xué)校和工廠合作，研制成功國內(nèi)第一臺單晶爐。在此后50多年的發(fā)展中，一直在國內(nèi)相關(guān)科研領(lǐng)域保持領(lǐng)先。

　　這次承接國家科技重大專項，自主研制成功國內(nèi)第一臺電子級單晶爐用大型勾型磁場，當(dāng)記者問到面臨的最大技術(shù)難關(guān)是什么，工程中心負(fù)責(zé)人表示，國內(nèi)缺乏相關(guān)技術(shù)材料，國外實行技術(shù)封鎖，研究人員只能通過單元實驗，一步一步做出成果。

　　“我們從第一步畫圖紙開始，再做仿真，然后再做單元實驗。通過做出一個一個模塊，再到本體，一直到最后的成品，是不斷反復(fù)實驗的結(jié)果。期間，全部研發(fā)人員都付出了很多心血，用劉校長的話說，就是5加2，白加黑，春節(jié)都沒有怎么休息”。弋英民笑著說。

　　當(dāng)記者進(jìn)一步問及，工程中心成功的關(guān)鍵因素是什么。弋英民很快答道，一是工程中心擁有豐厚的技術(shù)積淀，研發(fā)實力一直保持國內(nèi)領(lǐng)先；二是依托西安理工大學(xué)，中心集中了一批包括自動控制、電子信息、檢測及傳感、機(jī)械、材料等多學(xué)科交叉的科研人才。

　　此外，工程中心負(fù)責(zé)人強(qiáng)調(diào)，工程中心在做研發(fā)時，一直非常重視結(jié)合企業(yè)及市場的需求，并積極促成研發(fā)成果的市場轉(zhuǎn)化。

　　目前，工程中心設(shè)有技術(shù)委員會，成員包括學(xué)校、工程中心自身、企業(yè)相關(guān)人員以及客座專家等，每年都會就中心下一步的發(fā)展進(jìn)行討論規(guī)劃?！氨热缒壳癓ED的發(fā)展勢頭很好，我們也正在計劃之中”，工程中心負(fù)責(zé)人補(bǔ)充說。

　　市場與研發(fā)緊密互動

　　注重市場需求，加強(qiáng)校企合作——工程中心的發(fā)展思路一直非常清晰。畢竟，不管工程中心的研發(fā)實力如何強(qiáng)勁，若無相應(yīng)的資金支持，很難維持其正常運轉(zhuǎn)。

　　劉丁說到這個話題時深有感觸：“目前，很多研發(fā)中心都缺乏可持續(xù)發(fā)展的維持機(jī)制，與企業(yè)之間的合作往往是一錘子買賣。我認(rèn)為，工程中心唯有與企業(yè)建立了長期穩(wěn)定的利潤分擔(dān)機(jī)制，才能真正出成果，在高端設(shè)備研發(fā)方面有所作為”。

　　目前，工程中心與西安理工晶體科技有限公司(以下簡稱理工晶科)就維持著這樣的合作機(jī)制。

　　理工晶科前身為西安理工大學(xué)校辦工廠，2008年實行股份制改造后，仍由校方控股。也許是因為有著這樣緊密的聯(lián)系，使得雙方的合作順風(fēng)順?biāo)?/p>

　　理工晶科總經(jīng)理王俊輝向本刊記者介紹稱，在國內(nèi)30多家做晶體生長設(shè)備的企業(yè)中，理工晶科無疑是發(fā)展歷史最長的。就規(guī)模來說，排名也在前5之內(nèi)。

　　他表示，這幾年公司的產(chǎn)值一直比較穩(wěn)定，每年大約在2億元左右。隨著行業(yè)發(fā)展形勢越來越好，企業(yè)下一步準(zhǔn)備擴(kuò)大規(guī)模，并進(jìn)行資產(chǎn)重組，籌備上市。

　　當(dāng)記者問到如何看待與工程中心的合作，王俊輝表示：“工程中心的研發(fā)實力在國內(nèi)是首屈一指的。我們企業(yè)一方面做好傳統(tǒng)產(chǎn)品，另一方面，可依托中心走尖端技術(shù)和設(shè)備的發(fā)展道路”。

　　具體來說，這種運行機(jī)制首先是由企業(yè)提出技術(shù)難題和改進(jìn)方案，并以技術(shù)委托合同的形式，委托工程中心進(jìn)行研究。最終，工程中心將提出完整而確實可行的解決方案，企業(yè)則提供相應(yīng)的研發(fā)費用。

　　這一機(jī)制促使工程中心的研發(fā)，與企業(yè)生產(chǎn)中遇到的實際問題緊密結(jié)合。針對晶體生長設(shè)備和工藝中的重大關(guān)鍵性和共性技術(shù)問題，持續(xù)不斷為企業(yè)提供相應(yīng)的解決方案，并為其規(guī)?；a(chǎn)提供成熟配套的技術(shù)工藝和裝備。

　　依托這種合作形式，雙方均取得了豐碩的成果。舉例來說，2007年12月，TDR100型硅單晶爐通過美國應(yīng)用材料公司的驗收并整體達(dá)到歐洲CE認(rèn)證，銷往芬蘭OKMETIC電子公司，打開了國產(chǎn)單晶爐進(jìn)入歐洲市場大門。2008年5月，多芯硅芯爐通過陜西省級技術(shù)鑒定并已定型生產(chǎn)，目前已占據(jù)國內(nèi)多晶硅行業(yè)80%的市場份額。

　　就工程中心而言，劉丁舉例說，企業(yè)每賣出一套設(shè)備，中心可獲得合同額的2%-3%繼續(xù)用于研發(fā)。雖然并不算高，但在企業(yè)目前技術(shù)投入普遍不足的大形勢下，已算是不錯的成績，可幫助工程中心維持日常運轉(zhuǎn)。

　　國家與地方聯(lián)建

　　走向全國的契機(jī)

　　剛剛過去的2010年，工程中心總共承擔(dān)了15個課題，全部科研收入為863萬元。其中來自國家及省市項目科研收入693.8萬元，來自技術(shù)和產(chǎn)品的收入為170萬元?？傊С龊嫌嫗?09.49萬元，全部為科技研發(fā)支出。

　　劉丁感嘆，工程中心搞一次實驗，光是水電氣的費用，動輒幾萬。雖然目前整個中心在現(xiàn)有機(jī)制下運轉(zhuǎn)正常，但若想在技術(shù)攻關(guān)幾走得更長更遠(yuǎn)，資金始終是一個繞不過去的坎兒。

　　由于工程中心的主要收入來源為國家科研投入和企業(yè)的技術(shù)服務(wù)收入，在晶體生長裝備的高端技術(shù)主要為國外大公司所掌握的形勢下，中心的進(jìn)一步成長，還需要更多國家層面的支持。

　　目前，陜西省發(fā)改委每年從高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項資金中安排1200萬元支持創(chuàng)新能力建設(shè)，工程中心大約得到其中的200萬元資金。而國家地方聯(lián)合工程研究中心的批復(fù)，則為其發(fā)展帶來了新契機(jī)。

　　陜西省發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)處處長劉迎軍在向記者介紹相關(guān)情況時表示，通過這一政策，工程中心從陜西出發(fā)，開始走向全國。“我們希望讓大家了解到陜西擁有這樣實力強(qiáng)勁的研發(fā)中心，一方面有利于吸引包括企業(yè)及投資者在內(nèi)的外部資源，另一方面，可以將工程中心推向市場，更好地體現(xiàn)技術(shù)、資本與市場的融合”，劉迎軍這樣說道。

　　他還表示，過去國家級的工程中心主要集中在北京、上海這樣原本科研實力就強(qiáng)的地區(qū)。通過國家地方聯(lián)建這種方式，提拔西部省份高新技術(shù)工程中心的發(fā)展，可以縮小地區(qū)之間在創(chuàng)新能力建設(shè)方面的差距。并最終通過研發(fā)實力的提升，促進(jìn)全省高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。